材料本身有的高硬度、耐磨性、耐酸性、耐热性、低热膨胀系数等特性,能适合在特殊环境下使用保证高精度、可靠性。
Al2O3的复合材料能在真空、非磁性条件下使用
导轨部件使用Si3N4材料制成,具有很好的平滑性能,可以省去使用润滑油,避免了污染真空环境,影响真空度
适用最高真空度10-5Pa的环境。
参数 AME-15 AME-25
移动量 0~15mm 0~25mm
分辨率 0.0001mm -
位置精度 0.01mm -
最大速度 0.07mm/min 1mm/min
推力 98N(10kgf) -
工作温度 20±10℃
限位传感器 原点、最大、最小 -
线长:2m
重量 0.29Kg 0.3Kg